電容式傳感器使用各種類型的電容器作為傳感元件，將測量的物理量或機械量轉換為電容。事實上，它是一個參數可變的電容器。在使用電容技術的應用中，電容接近開關的靈敏度取決于目標物體的材料特性。金屬、塑料或液體物體的材料特性會影響感應范圍，從而影響電容傳感器的輸出檢測點。電容式傳感器廣泛用于位移、角度、振動、速度、壓力、成分分析、介電性能等的測量，最常用的是平行板電容器或圓柱形電容器。
電容式傳感器類型
1、極對極電容傳感器
靈敏度s與極距的平方成反比，極距越小靈敏度越高，但極距的減小受限于電容器極板之間的擊穿電壓。一般δ0=0.1～1mm。電容C與極距δ呈非線性關系。為了減小非線性誤差，極距的變化范圍通常為Δδ/δ0≈0.01～0.1。這種電容式傳感器僅適用于小位移（0.01μm至數百微米）的測量和非接觸式測量。
在實際應用中，為了提高傳感器的靈敏度，增加線性工作范圍，克服外部條件（如電源電壓、環境溫度等）變化對測量精度的影響，差動電容傳感器被經常使用。
2、可變面積電容傳感器
由于平板傳感器的活動板在極距方向有輕微的移動，會影響測量精度。因此，在一般情況下，可變面積電容傳感器多被制成圓柱形。
圓柱形電容器的電容為：
C=2πε0εr x/ln(D/d)
當覆蓋長度x變化時，電容發生變化，其靈敏度為
S=dC/dx=2πε0εr//ln(D/d)=常數
面積可變電容傳感器的優點是輸出和輸入呈線性關系，但與平板可變傳感器相比靈敏度較低，適用于大角位移和線性位移的測量。
3、可變介電電容傳感器
圖中，厚度為δ2（ε2為其介電常數）的介質在電容器內左右移動，由于電容器內介質介電常數的變化，電容發生變化。設電容極板寬度為b，介質寬度ε2大于等于b。
當板間沒有介質ε2時，
C0=bl/(d/e1)
可變電介質電容傳感器常用于測量電介質的厚度、位移和液位。也可根據板間介質的介電常數隨溫度、濕度、容量的變化而變化，來測量溫度、濕度、容量。
