1、高擴散硅壓力傳感器手感精度高，轉換靈敏，檢測三合一，轉換環節不連接機械運動部件，因此重復性和滯后誤差非常小。所以綜合定位精度很高。
2、可靠性高的硅敏膜彈性變形量級為微應變，膜的最大位移量級為微米，且無機械磨損、無疲勞、無老化。平均無故障時間，性能穩定，可靠性高。
3、靈敏度高擴散硅敏感電阻的靈敏度系數比金屬應變片高50～80倍，其滿量程信號輸出在80-100mv左右。適配電路適配性好，應用成本相應低。由于其輸入勵磁電壓低，輸出信號大，且無機械運動部件損耗，因而分辨率高。
4、高頻響應由于敏感膜硅材料本身固有頻率很高，一般為50KC。制造工藝采用一體化工藝，振膜的有效面積可以很小，采用剛性結構預裝特殊設計，傳感器頻率響應高，使用帶寬可達零到100 kHz。
5、性能好程度隨著集成技術的進步，擴散硅敏膜的四電阻得到進一步提高，原來的人工補償已被激光電阻、電腦自動休息技術更換、傳感器歸零和靈敏度溫度系數已達到10-5個/℃量級，工作溫度也大大提高。
6、擴散硅壓力變送器良好的抗電擊穿性能由于采用特殊材料和組裝工藝，擴散硅傳感器不僅可以在130℃的強磁場中正常使用，耐高壓擊穿測試可以抗1500V /交流電壓沖擊壓力變送器。
7、耐腐蝕性好 由于擴散硅材料本身具有優異的耐化學腐蝕性，即使傳感器沒有隔離壓力面，在普通使用中也能適應多種介質。硅材料與硅油具有良好的相容性，使其在使用防腐材料的隔離過程中更容易實現。再加上其低電壓、低電流、低功耗、低成本和本質安全的防爆特性，可以替代許多同類型的功能產品，具有最佳的性價比。
